9月23日上午,园区企业迈睿捷(南京)半导体科技有限公司研发的首台(套)设备MRG-S200涂胶显影机交付仪式在长江之舟华邑酒店成功举行。企业代表、行业代表、投资机构、园区及新区相关领导共同见证了这一荣耀时刻。
据了解,MRG-S200涂胶显影机是前道晶圆厂8吋机台,能够实现涂胶显影的功能,对接曝光机台的工艺设备,相较市面常见机台,它升级了即时监控、显影效率提升、全自动环境温控系统,满足了客户对高阶涂胶显影制程工艺的需求,极大提高了生产产能与效率。
2022年年底,由天使轮领投方益华资本牵头,在江北新区产业资本支持下,迈睿捷落户江北新区研创园。迈睿捷是一家半导体工艺解决方案服务商,致力于解决国家在集成电路前道晶圆加工领域、后道先进封装领域的高端涂胶显影设备的研发、制造、销售以及核心部件的国产化等卡脖子问题。核心团队拥有半导体涂胶显影设备10-20年以上的设计、应用及开发经验背景,团队日夜奋战,强大的团队背景从开启研发工作到如今首台产品交付,用时不过短短6个月。
仪式现场,迈睿捷(南京)半导体科技有限公司还举行了与合作企业共同开发新设备的签约仪式,双方将聚力合作开发MRG-Cherub200蚀刻设备。